Precizní měření mechanických vlastností tenkých vrstev a materiálů s vysokou reprodukovatelností.
ELIONIX ENT‑5 je nejnovější nanoindentor japonské výroby určený pro vysoce přesné měření tvrdosti, modulu pružnosti a dalších mechanických vlastností tenkých filmů, povrchových vrstev a mikrostruktur. Díky aktivnímu potlačení vibrací, stabilní tepelné regulaci a všestrannému rozsahu zatížení poskytuje mimořádně stabilní, opakovatelné a přesné výsledky i u extrémně tenkých vrstev.
Hlavní výhody:
- Rozsah zatížení 0,5 µN – 2 000 mN (dvě jednotky: nízké / vysoké zatížení)
- Optické měření posunu, rozlišení 0,3 pm, rozsah ±50 µm
- Aktivní antivibrační stůl a stabilizace teploty ±0,1 °C
- Přesné polohování: krok 0,1 µm, oblast měření X 50 mm / Y 40 mm
- Optický systém 20× (standard), až 2 000× digitálně
- Snadná výměna zatěžovacích jednotek a rychlá údržba
- Funkce dynamické instrumentované indentace (měření tuhosti dle hloubky)
- Volitelné moduly: měření pod vodou, vyhřívané držáky, test pevnosti mikročástic